ძირითადი ტექნიკური პარამეტრები
შესაფერისი Slurry LFPLCO, LMO, temary.graphite, silicen carhon, cte
საფარის რეჟიმი ექსტრუზიის საფარი
სუბსტრატის სიგანე/სუბსტრატის სისქე მაქს: 1400 მმ/კუ: წთ 4,5 მმAL: მინ9 მმ
როლიკერის ზედაპირის სიგანე მაქს: 1600 მმ
საფარის სიგანე მაქს: 1400 მმ
დაფარვის სიჩქარე ≤90მ/წთ
საფარის წონის სიზუსტე ±1%
გათბობის მეთოდი ელექტრო გათბობა/ორთქლის გათბობა/ნავთობიანი გათბობა
შესრულების და სტრუქტურის ძირითადი მახასიათებლები:
1. ფართობის სიმკვრივის მრიცხველს და კვერს შეუძლია შექმნას დახურული მარყუჟის კონტროლი.
2.CCD სისტემა დახურული მარყუჟის კონტროლით განზომილების გამოვლენისთვის.
3.გადასვით დასასრული ლენტი ნარჩენებზე.
4.ორმაგი ფენის ხსნარი შეიძლება დაიფაროს სუბსტრატის იმავე მხარეს.
5. იმუშავეთ MES სისტემასთან და აღჭურვილობის მოძრავი ღრუბლოვანი კონტროლის მენეჯერი.
ხარისხის მონიტორინგი და გამოხმაურება:
1. ფართობის სიმკვრივის მრიცხველი X/B სხივში ონლაინ გამოვლენისთვის.
2.CCD სისტემა განზომილების და ხარვეზების გამოვლენისთვის.
3.NG ნიშნის ჭავლური ბეჭდვა.
4. ტემპერატურის გაზომვა IR-ით ღუმელის შიგნით ელექტროდის ზედაპირზე,
5. მასის ნაკადის მრიცხველი ონლაინ რეჟიმში აკონტროლებს ნაკადს, სიბლანტეს და ტემპერატურას.
6.NMP კონცენტრაციის მონიტორინგი კათოდური ღუმელისთვის და ანოდური ღუმელისთვის ტენიანობის გამოვლენისთვის.