შესრულების და სტრუქტურის ძირითადი მახასიათებლები:
1. ფართობის სიმკვრივის მრიცხველს და კვერს შეუძლია შექმნას დახურული მარყუჟის კონტროლი.
2.CCD სისტემა დახურული მარყუჟის კონტროლით განზომილების გამოვლენისთვის.
3.გადასვით დასასრული ლენტი ნარჩენებზე.
4.ორმაგი ფენის ხსნარი შეიძლება დაიფაროს სუბსტრატის იმავე მხარეს.
5.მუშაობა MES სისტემასთან და აღჭურვილობის მოძრავი ღრუბლოვანი კონტროლის მენეჯერი.

ხარისხის მონიტორინგი და გამოხმაურება:
1. ფართობის სიმკვრივის მრიცხველი X/B სხივში ონლაინ გამოვლენისთვის.
2.CCD სისტემა განზომილების და ხარვეზების გამოვლენისთვის.
3.NG ნიშნის ჭავლური ბეჭდვა.
4. ტემპერატურის გაზომვა IR-ით ღუმელის შიგნით ელექტროდის ზედაპირზე.
5. მასის ნაკადის მრიცხველი ონლაინ რეჟიმში აკონტროლებს ნაკადს, სიბლანტეს და ტემპერატურას.
6.NMP კონცენტრაციის მონიტორინგი კათოდური ღუმელისთვის და ანოდური ღუმელისთვის ტენიანობის გამოვლენისთვის.