ძირითადი სტრუქტურული და ფუნქციური მახასიათებლები:
1. ფართობის სიმკვრივის მრიცხველს და შტამპს შეუძლია შექმნას დახურული მარყუჟის კონტროლი.
2. CCD სისტემა დახურული ციკლის კონტროლით განზომილების აღმოსაჩენად.
3. კუდებზე დააკარით დამაკავშირებელი ლენტი.
4. ორმაგი ფენის სუსპენზიის დაფარვა შესაძლებელია სუბსტრატის ერთ მხარეს.
5. MES სისტემასთან ერთად მუშაობა და აღჭურვილობის ღრუბლოვანი კონტროლის მართვა.

ხარისხის მონიტორინგი და უკუკავშირი:
1. რენტგენის/B სხივების ფართობის სიმკვრივის მრიცხველი ონლაინ დეტექტირებისთვის.
2.CCD სისტემა ზომებისა და დეფექტების აღმოსაჩენად.
3.NG ნიშნის მელნის ბეჭდვა.
4. ტემპერატურის გაზომვა ღუმელის შიგნით ელექტროდის ზედაპირზე ინფრაწითელი სხივების საშუალებით.
5. მასის ნაკადის მრიცხველი ონლაინ რეჟიმში აკონტროლებს ნაკადს, სიბლანტეს და ტემპერატურას.
6. კათოდური ღუმელისთვის NMP კონცენტრაციის მონიტორინგი და ანოდური ღუმელისთვის ტენიანობის აღმოჩენა.